GC-Gas Cabinet（特气柜）和GR-Gas Rack（气瓶架）是专为危害性气体设计的设备，而VMB-Valve Manifold Box（阀门箱）和VMP-Valve Manifold Panel（阀门盘）则同样用于此类气体的管理。这些设备在功能上有所不同，但共同特点是都配备了抽风管，以应对小泄露等危险情况，确保气体能够及时排出，防止扩散造成更大危害。
此外，特气柜和气瓶架的设计也各有特点。特气柜内钢瓶数的配置灵活，包括单钢瓶、双钢瓶和三钢瓶等多种选项，以满足不同使用场景的需求。而气瓶架则更适用于非危害性气体的管理。

在操作性和功能性方面，这些设备也经过了精心设计。例如，单钢瓶设计适用于研究机构和实验室，其优点在于节省空间和成本，但需要日常管理和协调以确保工艺制程的连续性。双钢瓶和三钢瓶设计则更适用于量产工厂，其自动切换功能确保了工艺制程的连续性，同时也有助于降低风险。

总的来说，这些特气设备和阀门设备在功能上各有千秋，选择哪种设备取决于具体的使用场景和需求。然而，无论选择哪种设备，安全性始终是首要考虑的因素。
通常，气瓶柜会配备两个特殊气体钢瓶，并具备自动切换功能，以确保连续供应无间断。对于气态气体，剩余量通常通过压力感应器进行计算；而对于液态蒸气压气体，则采用电子磅秤进行侦测。当其中一瓶气体耗尽时，系统会自动切换至另一瓶。

在操作方式上，这些设备通常提供全自动、半自动和手动三种选择。接下来，我们将详细探讨全自动与半自动操作方式之间的主要差异。


在更换气瓶的过程中，通常会执行几种不同的Purge操作，以确保系统的纯净与稳定。这些操作包括：

(a) Pre-purge（换瓶前）: 在更换钢瓶之前，首先关闭钢瓶阀并确认其紧密性。然后，通过真空产生器将特殊气体抽出，并利用PN2来稀释管壁内的残留气体。重复此充吹过程，直至管壁内的气体被彻底清除，此时便可进行钢瓶的更换。

(b) Post-purge（换瓶后）: 钢瓶更换完毕后，通常以PN2进行保压测试，以确认钢瓶接头连接良好。之后，再次利用PN2执行充吹动作，清洁钢瓶接头，确保其洁净。

(c) Process purge（工艺Purge）: 这是直接使用特殊气体来Purge管壁的过程。其目的是彻底清除管壁内的PN2，提升供气品质，确保更换钢瓶后供应的气体质量不受影响。是否采用此操作，通常根据客户需求来决定。

(d) Hi pressure leak test（高压测漏）: 对于高压燃烧性气体，建议进行高压测漏，以确保钢瓶接头的连接牢固无误。

此外，在气瓶柜的设计中，还包含了许多关键组件，如气动阀、手动控制阀、逆止阀、调压阀、压力传感器以及真空产生器等。这些组件共同构成了气瓶柜的管路系统，确保了特殊气体的稳定供应与使用安全。
气体过滤器：通常，钢瓶出口端会安装较粗的过滤器，而出端则配备较细的过滤器。这些过滤器旨在有效清除气体中的颗粒物。需注意，这类过滤器较难进行Purge操作，因此一般不建议将其安装在经常进行Purge的管路中。

过流量侦测器：此装置用于监测管路中的异常流量。一旦流量超过预设值，即判断可能发生大量泄漏，从而及时关闭供应系统，停止供气。

限流孔：这是一种简单而有效的过流量控制装置，主要用于限制大量气体流过。它通常安装在vent处，以应对区域性废气处理机无法处理的大量特殊气体排出的情况。

在气瓶柜的管路设计上，需特别注意以下几点：

不相容的气体Purge管路不得相连通。
严禁将不相容的气体装入同一个气瓶柜内，即使各自有独立的供应系统也不行。
管路尺寸应根据实际工艺制程所需的压力和流量来合理设计。
钢瓶接头的型号应事先由业主提供，以确保能顺利连接。
小型钢瓶会使用可调整的支撑架来稳定。
阀件材质的选择应依据气体特性进行。
考虑未来扩充性时，可在出口端预装一个扩充阀。

此外，气瓶柜的防护设计也至关重要，包括外箱的防火与防爆、抽风孔、火焰侦测器、消防洒水头等设施。在气体房内也需配备烟雾侦测器和消防洒水头，以应对可能发生的火灾。所有这些系统都应与中央监控系统和广播系统相连通，以便在发生警报时能迅速疏散相关人员并启动紧急应变措施。
这些相关防护设备在规划时，需仔细考虑其摆放位置及实用性。例如，紧急切断按钮不仅需安装在气柜上，还应在气体房外或中央监控系统处设置，以确保在气体泄漏时，人员能迅速进入并关闭源头钢瓶。此外，警报警示灯与警报声响应设在气体房外显眼位置，便于人员紧急处理时识别。同时，还需规划相关防护器具，如更换钢瓶时使用的空气面罩等。

为防地震导致气瓶柜位移，应在柜底部打膨胀螺丝进行固定。地震仪的安装也至关重要，通常配备三个感应器，分别置于厂区三个角落，以避免外力干扰（如施工）造成误动作。一般而言，地震切断系统功能需两个地震仪动作才会触发，且设定地震等级为五级。

另外，紧急废气处理设备对于燃烧性气体的处理尤为重要。平时抽风量仅为一半，特殊气体外泄时则会全数运转，并与侦测器配合使用。但受空间限制，其设计通常仅能处理一瓶特殊气体的量，因体积庞大而价格昂贵，目前尚未广泛普及。

此外，根据气体特性来设计盘面功能也是不可或缺的一环。

另外，特气柜的价格会因不同气体特性而有所差异。例如，针对腐蚀性气体，减压阀需要具备耐腐蚀性；对于液态气体，则需要配备称重设备；某些低压气体钢瓶则可能需要加热毯来维持其稳定性。此外，SH4气体等特殊气体还需要加装火焰探测器等设备以确保安全。因此，在选择特气柜时，必须根据实际使用的气体特性来综合考虑价格和功能需求。
这些因素共同导致了特气柜价格的差异。因此，在选择时，我们不能简单地认为价格越低越好。

接下来，我们谈谈VMB/MP的设计。VMB内气体种类的配置设计通常有两种策略：一种是以供应机台为主要考量，另一种则是根据气体种类进行分类。前者虽然空间上具有优势，但若不相容气体装在同一个箱子内，一旦发生泄漏或误操作，可能导致激烈反应甚至爆炸，同时增加侦测器的数量，带来成本负担，且未来扩充性较差。后者虽然气体侦测点较少，操作可能稍显不便，但安全性更高，VMB的设计和操作更为简便，且扩充性良好。

实际上，VMB与气瓶柜的设计在基本原理上是相似的。然而，由于经费限制，气瓶柜的一些高级功能可能不会在VMB上实现，主要以手动操作和气动阀紧急切断功能为主。由于VMB通常不会频繁操作，因此泄漏的可能性较低，设计时主要考虑的是成本控制。

VMB的设计通常根据业主的实际需求来确定点数，例如5或其他数目，同时供应多台机台。此外，还可以加装调压阀进行二次调压，以确保压力的稳定性，并通过设定上下警报信号实现更有效的供应控制。

功能与特点

Function & Feature
工艺管线配置灵活，可满足2至10分支的需求，完全根据客户需求定制。
操作方式多样，包括自动、半自动和手动，以满足不同场景的需求。
配备PN2吹扫管线和抽真空管线，确保管路及相关阀件的清洁（真空管线可选，可通过机台pump抽气）。
工艺制程中可进行二次调压，以满足特定的压力需求。
主管和分支均设有扩充阀，为未来扩充提供便利。
VMB的电控箱可与厂务中控系统无缝衔接，实现集中监控。

VMB/VMP安全防护措施

工艺管线的供气状况通过PLC（可选）与中控系统连接，确保在紧急情况下能自动切断气源。
所有阀件接点和焊道均位于箱内，通过风门调节抽风量，降低气体外漏风险。
配备红外紫外探测火焰UV Detector（可选）或热量探测器，监测可燃性或自燃性气体。
现场设有切断按钮，便于在必要时迅速行动。
使用防爆钢丝玻璃，增强安全性。
配置门锁，防止不当操作。

实际上，VMB的配置可以根据客户的预算和具体需求进行灵活调整。例如，如果客户希望使用工艺设备中的真空泵进行抽真空操作，并且不需要文丘里（Venturi）WVS抽真空部分，那么系统图纸将会相应地作出调整。