卓胜微MAX-SAW滤波器全面解析

在之前的文章中，我们探讨了卓胜微在射频滤波器领域的创新之路，并指出在2023年底，公司已成功将普通SAW滤波器升级为MAX-SAW。这一升级不仅满足了市场对高性能滤波器的需求，更彰显了卓胜微在自主研发与生产方面的实力。今天，我们就来深入剖析这款MAX-SAW滤波器的独特之处。

由于滤波器代工产能的稀缺，卓胜微果断决策，自建芯卓SAW滤波器产线。经过15个月的紧张筹备，该产线顺利通线，并成功流片出首款滤波器晶圆样片。截至2022年末，历经两年的努力，芯卓SAW滤波器产线已全面进入规模量产阶段，实现了自产SAW和高性能滤波器的规模化生产。

在2023年，随着SAW滤波器工艺研发平台的搭建完成，卓胜微的自建产线在设计、工艺、材料等方面持续探索，不断提升滤波器产品的生产制造能力。正是在这样的背景下，普通SAW滤波器逐步升级拓展为MAX-SAW——一款采用POI衬底的高端SAW滤波器。它具备高频应用、高性能等特性，在sub-3GHz以下的应用中，其性能可媲美BAW和FBAR滤波器，显著提升了产品的性能和工艺材料的迭代速度，同时降低了成本。

POI衬底的应用，通过在压电层和功能层表面以下增加额外的氧化埋层，有效改善了频率温度系数（TCF）和品质因数（Q）。而normal SAW与TC SAW技术的结合，更是将声波引入压电层和功能层，从而将声学能量限制在表面附近，进一步优化了TCF和Q因数。这些技术的创新应用，使得MAX-SAW滤波器在性能上取得了显著提升。


POI SAW在5G滤波器领域展现出的潜力，使其有望成为取代TC SAW和BAW的更佳选择。相较于这两种方案，POI衬底能够提供性能更为出色的谐振器，不仅在品质因数、耦合系数以及频率温度系数等多个维度上均展现优势，还具有更高的能源效率和更低的成本。TC SAW通常适用于低频段和中频段的滤波技术，而BAW则更多用于中频段和高频段。然而，POI衬底的SAW技术能够同时解决中频段和高频段的技术挑战，因此有望在5G滤波器领域成为更优的解决方案，从而取代TC SAW和BAW。

鉴于卓胜微当前未有BAW滤波器的投资规划，其现有的MAX-SAW品牌，依托POI衬底技术，已能在sub-3GHz以下的频段内，展现出与BAW和FBAR相媲美的性能。因此，MAX-SAW有望成为替代TC-SAW和BAW的更佳选择。