原创内容，供大家参考，有错漏之处欢迎交流指正。本人2024年7月24日第一次发在某乎。

MFC里的接液材料(wetted materials)，是指可能会接触到介质（包括气体或液体）的元件所采用的材质。这里的元件，包括一体化的外壳或底座、传感器、阀门、密封件……

常规机械和化工相关的行业里，有PFA、陶瓷、316SS、铂铱、哈氏合金C、钽、钛等很多类型的接液材料。在常规MFC上应用的比较少，特别是古老的模拟量MFC，那个年代对于接液材料和泄露基本是没有要求。但是在讲究点的MFC上，接液材料就有了316L、KM45 、PCTFE、FKM、EPDM、EPOXY，甚至是Vim Var工艺加持。 以下分别对这些材料或工艺做个简要说明：

316L：不锈钢根据GB/T20878-2007中定义是以不锈、耐蚀性为主要特性，且铬含量至少为10.5%，碳含量最大不超过1.2%的钢。具体到316L，AISI 316L是对应的美国标号，sus 316L 是对应的日本标号。我国的统一数字代号为S31603，标准牌号为022Cr17Ni12Mo2（新标）。316L因其优异的耐腐蚀性在化工行业有着广泛的应用，316L也是属于18-8型奥氏体不锈钢的衍生钢种，添加有2～3%的Mo元素。（看到这一堆的不同标号来表示同一个东西，我只想操着咸阳口音来一句“统一哈么，这么多，乱滴很！”）铬在不锈钢中的主要作用是提高其耐腐蚀性、硬度和耐磨性，在不锈钢表面形成钝化膜层；镍在不锈钢中具有延展性、耐腐蚀性、强度、硬度、韧性等功效和作用；钼在不锈钢中的作用主要体现在提高不锈钢的高温强度、改善耐蚀性能、增强焊接性能。

KM45，是一种软磁不锈钢材料，常用于制造电磁阀芯等精密部件。这种材料具有良好的磁导率和较低的矫顽力，适合用于需要高精度控制磁场的场合。KM45材料的成分和特性使其在电磁阀芯应用中表现出优异的性能，能够满足高精度控制的要求。此外，KM45材料还具有较好的耐腐蚀性能。在制造过程中，KM45材料可以通过热处理和表面处理等方式进一步优化其性能，以满足不同的使用需求。原材料价格大约是普通钢材的10倍，国内钢厂可生产。

PCTFE聚三氟氯乙烯，是最早研究开发并生产的热塑性氟塑料。最早由法国法本公司于1937制备，后美国启动曼哈顿工程，由3M在1942年投产，我国在1960年研制成功，在1966年建成规模化生产装置。具有耐腐蚀、耐低温、透光等特点。

FKM，氟橡胶（Fluororubber）是指主链或侧链的碳原子上含有氟原子的合成高分子弹性体。氟原子的引入，赋予橡胶优异的耐热性、抗氧化性、耐油性、耐腐蚀性和耐大气老化性。包括聚烯烃类氟橡胶、亚硝基氟橡胶、四丙氟橡胶、磷腈氟橡胶以及全氟醚橡胶（FFKM）等品种。高端MFC上经常使用全氟醚橡胶是借助其耐高温性能优异，氟含量高，耐溶剂性能优异的特点，来提高耐腐蚀能力。FFKM原材料主要由美日企业把控，原材料产每公斤数万元。

EPDM，三元乙丙橡胶，是乙丙橡胶的一种，因其主链是由化学稳定的饱和烃组成，只在侧链中含有不饱和双键，故其耐臭氧、耐热、耐候等耐老化性能优异。对丙酮，甲醇有较好的耐受能力，不能用于苯、乙烷、三氯甲烷等环境。

EPOXY是一种热固性树脂，由环氧树脂和固化剂组成。具有优异的耐化学腐蚀性能和粘接性能。

GLASS，玻璃，适用于惰性气体。

工艺：

Vim，真空感应熔炼(vacuum induction melting)，是在真空条件下，利用电磁感应，在金属导体内产生涡流加热炉料来进行熔炼的方法。

Var，真空自耗电弧熔炼(Vacuum Arc Remelting)是在真空状态下，利用直流电源在电极与放置于水套中的铜坩埚底板之间产生电弧，电弧加热产生高热，熔化电极，电极不断下降溶化，在水冷铜坩埚内形成熔池，熔化的金属完成速凝、结品、凝固成锭。

ESR，电渣重熔(Electro-Slag Remelting)是利用电流通过熔渣时产生的电阻热作为热源进行熔炼的方法，是电流通过液态渣池渣阻热，将金属电极熔化，熔化的金属汇集成熔滴，滴落时穿过渣层进入金属熔池，然后于水冷结晶器中结晶凝固成钢锭。

国内外大多数高品质高温合金和耐蚀合金等特种材料，并非是采用单独一种工艺，而是通过双联或三联的方法，即通过真空感应炉+电渣重熔炉(VIM+ESR)或真空感应炉+真空自耗炉(VIM+VAR)来生产，也有少量苛刻行业如军工用品采用(VIM+ESR+VAR)进行生产。

电渣冶金是目前生产高品质材料的重要手段，将高温熔炼、化学精炼和冷凝结晶结合起来生产高质量铸锭，具有纯度高、硫含量低、非金属夹杂物少、钢锭表面光滑、结品均匀致密、金相组织和化学成分均匀的优点。

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