射频电源：半导体工艺控制的核心，应用于CVD薄膜沉积、刻蚀等核心环节

1)什么是射频电源？

用来产生射频电功率的电源。核心作用—通过产生高频电磁场，将在低压或常压下的气体进行电离、形成等离子体。从而在腔体内部实现不同的工艺需求。

2)下游应用在哪？

半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等前道工艺机台的关键零部件之一，与工艺直接相关。射频电源的应用直接关系到腔体中的等离子体浓度、均匀度和稳定度，影响到终端晶圆刻蚀、成膜的质量。

3)为什么值得关注？

此前受制于下游对半导体核心零部件替换意愿弱、且对性价比不敏感等因素，国产替代诉求较弱。2022年10月美国出台的“半导体制造”最终用途限制措施，进一步限制国内半导体的发展，射频电源已成为“卡脖子”环节之一，国产替代需求紧迫。

行业趋势：全球/国内270/70亿元市场，国产化率极低、未来2年将提速

1)市场空间：受益于新增扩产+存量替换市场需求，我们测算：预计2025年全球半导体射频电源市场空间有望达270亿元，国内市场空间达70亿元。未来随着半导体资本开支的上行、市场空间有望持续打开。

2)竞争格局：全球射频电源主要被2家美系厂商寡头垄断。2022年美国MKS和AE合计市占率达87%，其余日德企业占据少量份额，国产化率极低。在半导体“卡脖子”背景下、国内厂商英杰电气、恒运昌、北方微电子与下游设备厂共同成长，在射频电源产品供应方面已实现批量订单突破。

3)行业趋势：我们认为行业将受益于——海外供应瓶颈+库存消耗周期因素+半导体资本开支提速的3重因素叠加，半导体射频电源国产替代进程有望进入加速期。预计半导体射频电源的国产替代趋势有望在未来1-2年内加速推进、实现全面国产替代。

海内外产业链重点公司：预计国产半导体射频电源公司将迎加速突破拐点——海外主要企业：

　　1)美国MKS：全球半导体射频电源龙头，覆盖半导体/电子封装/特殊工业领域

　　2)美国AE：半导体射频电源龙头，覆盖半导体/工业/医疗/数据/通讯多领域

　　3)美国Comdel：并购XPPower，完善电源产品生态

　　4)日本DAIHEN：焊接机器人龙头，延伸布局等离子射频电源领域

　　5)德国TRUMPF霍廷格：光伏射频电源龙头，半导体射频电源加速布局

——国内主要企业：

　　1)英杰电气：半导体射频电源订单加速突破、迈向泛半导体核心零部件龙头

　　2)恒运昌：半导体射频电源领军者，在拓荆PECVD设备已实现批量供货

　　3)北方微电子：收购射频电源资产，与半导体设备业务相协同

投资建议

重点推荐：英杰电气（半导体电源龙头）、北方华创（半导体设备国产替代领军者）、中微公司（半导体刻蚀设备龙头）；拓荆科技（薄膜沉积设备龙头）

建议关注：恒运昌（拓荆科技参股）、北方微电子（北方华创子公司）等厂商

此为报告精编节选，报告PDF原文：

《电子设备-半导体设备行业深度报告：半导体射频电源，刻蚀+CVD设备的核心，国产化替代拐点已至-浙商证券-20231218【29页】》

报告来源：【价值目录】