什么是晶舟？相信我，第一次听到的时候，是和你一样费解的。

如果你是新入行半导体领域的新人的，当你跟公司老员工交流时，是否曾为那一句句让人一脸懵逼的专业术语（“黑话”）所困惑过？是否因为不懂对方在说啥而感觉自卑？是否有过抄起板凳打人的冲动！不要着急，先控制好自己的情绪。等你把这些“黑话”（专业术语）给学会了，同样可以对后来的新人威（大）慑（展）一（淫）番（威）。

好了，不卖关子，不然真的要被砸了。

晶舟示意图

直白点，晶舟(wafer boat，或者wafer cassette box)其实就晶圆的存储盒或者存储架！是用来储存、运送以及加工晶片的装置。因为wafer越来越薄，属于易碎品，晶舟就是要起到保护wafer在运输转移过程中不受破坏的作用。通常，晶舟被设计成至少可以承装一片晶片的结构，更明确地说，晶舟主要含有多个晶片放置槽，而每一个晶片放置槽可供放置一片晶片。

晶舟的材质有很多，低端点儿的可以是聚合物（其实就是塑料的）。

“塑料”晶舟

高端点儿的甚至可以是SiC材质的！没错，你没看错，就是卖的贼贵（光是衬底一片6寸的就得六七千！）的第三代化合物半导体材料碳化硅！只不过纯度要求很低，远远不是用作晶圆的那个等级。

SiC晶舟

因为存储或者运输等条件的差异，晶舟的选择也是有要求的。比如需要耐高温、防静电等等。这个东西，其实不算卡脖子核心零部件，但是还蛮重要的，了解就行。