TCO薄膜有In₂O₃系列和ZnO系列，在异质结太阳电池中，常用的TCO材料是锡掺杂In₂O₃，即ito，ito薄膜同时具有透明性和导电性。美能分光光度计UVN2800可以测量ito和非晶硅等薄膜材料的反射率和透过率，在光伏行业中广泛运用，本期「美能光伏」将带你了解ito薄膜在硅异质结太阳能电池中的运用。

ito薄膜

根据a-Si:H/c-Si异质结太阳能电池的制作流程，在发射极和BSF沉积后，需在电池的正反面形成ito薄膜。这是因为a-Si:H/c-Si异质结太阳电池与传统热扩散性晶体硅太阳电池相比，它的发射极的低导电性导致它只能通过金属栅线从发射极收集电流，这是不够的，所以需要用既导电又透明的薄膜来输运电荷。

为了获得高效的SHJ电池，表征电池的三个基本参数VOC、Jsc和FF必须同时提高。从ito薄膜的角度，可以从以下三个角度来改善电池的基本参数：

■ 低损伤沉积ito薄膜可以改善V_oc；

■ 使用高载流电子迁移率的ito薄膜可以提高J_sc；

■ 减小ito的方块电阻有利于获得高的FF。

常用的ito材料包括SnO₂体系、In₂O₃体系和ZnO体系。氟掺杂SnO₂主要是沉积在大面积的浮法玻璃上，常用于薄膜太阳能电池，与硅基异质结太阳电池的工艺不相容，在这里不做讨论。

锡掺杂In₂O₃是最常用的ito材料，在平板显示器生产中大量使用，也是HJT电池中主要使用的ito材料。在HJT电池中应用ito薄膜，起到三个方面的作用。

■ 可以使尽可能多的光透过ito，进入发射极和基区。

■ ito的折射率与SiNx薄膜接近，可以同时用作减反射层。

■ ito在电学方面满足导电的要求。

但ito薄膜的光学性能和电学性能是相互依存的，不能单独优化，必须在这两者中找到平衡点。

美能分光光度计

美能分光光度计可用来测量物质透过率、反射率及吸光度。

美能分光光度计采用独特的双光束光学设计，可以完美地矫正不同样品基质的吸光度变化，从而稳定地进行样品的测定，具有测试范围广，精度高以及稳定性好的优点。并且支持测定从紫外区到近红外区的广范围波长区域的太阳透过率，为太阳能电池的效率分析提供了有力支持。

整体来看，ito薄膜同时具有的导电性和透明性，大大提高了它在光伏领域的运用，并且提高了硅异质结太阳能电池的性能，在硅异质结太阳能电池中起着举足轻重的作用；美能分光光度计可以测量ito薄膜的反射率和透过率，不断推动光伏行业技术的创新和发展。