XRD残余应力的测量方法

1 同倾法

试样的Ψ转轴与衍射仪的θ/2θ轴重合，Ψ角在计数管扫描平面内变化，上述两个平面重合，测定的是试样横向的表面应力。这种Ψ角设置方式在国内称为常规法，在欧洲叫作Ω-测角仪。

2 侧倾法

若试验的Ψ转轴与衍射仪的θ/2θ轴垂直，即上述两个平面相互垂直，试样表面法线S3与计数管扫描平面之间的夹角为Ψ，测定的是试样轴向（S1轴方向）的表面应力。这种Ψ角设置方式在国内称为侧倾法，在欧洲叫作Ψ-测角仪。

3 GID法

以小角度掠射的方法进行残余应力分析，主要适用于薄膜样品。