质量流量控制器，为什么以SCCM和SLM为单位？

质量流量控制器，为什么以SCCM和SLM为单位？

从测量原理讲，热式质量流量计是通过利用气体的比热与密度，采用毛细管温差量热法进行测量，流量控制器测量的就是质量流量，但显示出的数值是通用的标况（101325 Pa; 0℃）体积流量。由于一般气体的密度都指标况下的密度，因此直接用体积乘以密度就可以得到所通过气体的质量。SCCM 与 SLM 为体积流量的行业标准单位，代表标况下的体积流量。SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分钟标准升。SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分钟标准毫升。