2022年5月Zygo公司，全球开发和供应精密计量仪器和光学仪器的领导者，宣布发布Mx软件平台的9.0版本，用于完整的仪器控制和数据分析。易用性是Mx 9.0中两个关键新功能的核心:支持Zygo的Verifire sphere+ (VFA+)仪器，以及允许轻松测量非常粗糙的薄膜的“Robust Films”模块。

9.0版本建立在Zygo的Mx软件的优势上，包括交互式3D地图，定量相位数据，直观的导航，内置统计、控制图表和通过/失败限制的SPC。Zygo最新的测量平台VFA+旨在测量轴对称非球面，最新的更新允许用户从安装部件到测量和洞察，只需点击几下鼠标。从客户的角度重新设计了用户界面和软件体系结构，优先考虑易用性和可访问性。重点是极大地简化用户界面，使其更图形化，更面向任务和流程。

Mx 9.0还提供了非球面分析的通用工具包。非球面是为众多行业部门和跨越广泛的尺寸和几何形状，客户可以使用各种ZYGO光学计量仪器测量非球面。Mx非球面分析工具包可用于任何仪器，符合用户的工作步骤-设计，制造，测量和分析。Zygo的高级科学家Martin Fay说:“我们Mx软件的关键价值主张是无缝集成数据采集和分析。实际上，这意味着客户可以安装一个部件，命中测量，并很容易得到最终的报告和高价值的结果。该软件不只是生成一个地图，然后导出到不同的软件包进行分析。有了Mx，客户可以超越原始测量数据，理解它的含义。”

费伊仍在继续。Mx 9.0是第一个支持VFA+的版本，VFA+是一种专门用于测量非球面的仪器，传统干涉仪难以测量。该软件是从用户目标的角度设计的:设计并生产一个可制造的非球面，然后测量它，以确定生产的非球面与设计偏离了多少。”

Mx 9.0还改善了其他应用程序的用户体验，包括测量带有透明薄膜的部件。通过这次最新的发布，Zygo在光学轮廓仪的信号处理方面取得了先进的技术水平，能够在粗糙的基板上表征粗糙的薄膜，这一直被证明是具有挑战性的。这些进步现在内置在Mx 9.0中，提高了涂层表面测量的鲁棒性，并使表征一个全新的范围的表面。

Mx 9.0现在在所有新的计量系统上发布，并可在支持的仪器上进行升级。