锗烷制备工艺主要有：氯化锗还原法，以氯化锗（GeCl4）、金属氢化物为原料，在无水有机溶剂中反应制得；以二氧化锗、氢化钠/氢化钾为原料，在氢溴酸中反应制得粗品再精馏提纯；以锗镁合金、盐酸为原料反应制得；在浓硫酸条件下电解氧化锗制得。

　　锗是重要的半导体材料，同时拥有部分金属与非金属特性，具有电阻低、无热辐射、功耗低等优点。锗烷在350℃左右基本可以完全分解为锗和氢，可用来制取高纯锗，是生产高纯锗的最佳方式之一，可以应用在半导体、集成电路、显示、通讯、太阳能等产业中。在半导体产业中，锗烷可采用MOCVD工艺在硅片上沉积硅锗薄膜，由此材料制造而成的异质结二极晶体管，其速度与频率响应效果优。

　　在全球市场中，法国液化空气集团（Air Liquide）于2013年收购美国Voltaix公司，成为全球最大的锗烷供应商。锗烷特别是高纯锗烷技术壁垒高，在2015年及以前，我国半导体用高纯锗烷需求完全依靠进口，进口价格高昂且存在供货不稳定性，不利于我国半导体产业发展。2016年，博纯材料实现锗烷量产，打破国内市场被国外企业垄断的格局，2019年，华特股份募投10吨/年锗烷产能项目，我国锗烷产能逐步扩大。