金融界2024年12月12日消息,国家知识产权局信息显示,冠礼控制科技(上海)有限公司申请一项名为“一种用于半导体制造的化学品加热装置”的专利,公开号CN 119103709 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本发明属于半导体生产技术领域,且公开了一种用于半导体制造的化学品加热装置,包括支架组件、包裹组件和加热组件。在本发明中,通过使用多个橡胶囊覆盖在管路组件上,随后向橡胶囊内注入热液,使橡胶囊与管路组件的外壁贴合,使管道内的化学品被充分且均匀的加热,有效避免了因管道覆盖不完全导致的,在运输过程中化学品的热量散失、温度不达标和冷凝的问题,此外、当管路组件发生故障时,通过将橡胶囊内的热液排出,使橡胶囊收缩,即可快速将管路与包裹组件进行分离,从而减少拆卸维护的时间,并且使用橡胶囊可以对不同形状、结构的管路组件进行包裹,提高了装置的适用范围。
本文源自:金融界
作者:情报员