金融界2024年11月25日消息,国家知识产权局信息显示,尊芯智能科技(苏州)有限公司取得一项名为“一种用于晶圆机械臂的驱动装置及晶圆运输设备”的专利,授权公告号CN 222041564 U,申请日期为2024年3月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于晶圆机械臂的驱动装置及包含该驱动装置的晶圆运输设备。在驱动装置中:第一驱动机构安装于安装板下方,第一主传动部穿设安装板,其输入端位于安装板下方并与第一驱动机构连接,第一主传动部的输出端位于安装板上方并在第一驱动机构的驱动下可相对安装板自转,第一主传动部的输出端用于连接晶圆机械臂以带动其相对安装板转动;第一主传动部具有沿其输出端的自转轴线设置的贯穿孔,且贯穿孔穿设安装板,贯穿孔用于外部晶圆机械臂上的传动输入轴的穿设以使传动输入轴达到安装板上方;第二驱动机构和第二主传动部均安装于安装板下方。第二主传动部与传动输入轴连接,第二主传动部在第二驱动机构的驱动下带动传动输入轴转动。

本文源自:金融界

作者:情报员

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