金融界2024年11月21日消息,国家知识产权局信息显示,浙江求是半导体设备有限公司申请一项名为“一种抛光设备”的专利,公开号CN 118977196 A,申请日期为2024年10月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体抛光技术领域,尤其是涉及一种抛光设备,包括设备主体,所述设备主体包括:抛光盘;布设机构,所述布设机构用于抛光盘上布设抛光垫,所述布设机构包括:载体,所述载体具有一承载面,所述承载面用于承载抛光垫,所述承载面上至少具有一连接部,所述连接部用于可拆卸连接抛光垫,以使抛光垫可贴合于所述承载面上;所述承载面可与所述抛光盘抵压配合,以使所述抛光垫与所述抛光盘形成一受力段。解决了如何提高抛光垫粘贴品质的技术问题,达到有效提高抛光垫粘贴品质的技术效果。
本文源自:金融界
作者:情报员