据台湾中时新闻网3月23日报道，台积电、联电、南茂等半导体厂人员皆平安，仅一些敏感机台当机。其中在南部科学园区部分，群创有2厂部分机台当机，但最后确认并无影响。

据当地媒体报道，台积电表示，大部分厂区都没有达到疏散标准，只有零星疏散，地震后，很快回到生产线；联电表示，员工及厂房均安、部分机台启动保护停机功能需要重新开机，整体第一季业绩不受影响。

23日凌晨，台湾台东县海域发生6.6级地震，此后大小余震不断。